Projekt 32945/02

Synthese von multikristallinem Dünnschicht-Silizium für die elektronische Anwendung

Projektträger

sameday media GmbH
Am Flatthaus 13
29640 Schneverdingen
Telefon: 05199 9856760

Zielsetzung und Anlass des Vorhabens

Als Ergebnis des Vorprojektes 'c-Si on Quartz' AZ 32945/01 wurde die Erreichbarkeit einer hervorragenden kristallinen Siliziumqualität aus einer durch Aluminium reduzierten Floatglas-Oberfläche gezeigt, mit besten Voraussetzungen für die elektronische Anwendung. Darauf aufbauendes Ziel dieses Vorhabens ist es nun, eine homogene multikristalline Silizium-Schicht in ausreichender Fläche, Dicke und Homogenität zu syntheti-sieren und damit die technische Umsetzbarkeit zu belegen.