Effizienzsteigerung der Abgasreinigung von Prozessgasen in der Chipindustrie mittels einer neuartigen Plasma-Barriereentladung
Projektträger
Diener electronic GmbH & Co. KG
Nagolder Str. 61
72224 Ebhausen
Telefon: +49 7458 99931-533
Fördersumme
118.000,00 €
Förderzeitraum
10.12.2015 - 10.03.2017
Bundesland
Baden-Württemberg
Schlagwörter
Klimaschutz
Umweltforschung
Umwelttechnik